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wj0702114081金蟲 (正式寫手)
學(xué)神的奴隸
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[求助]
離子注入效果檢驗？
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我在半導(dǎo)體所做過兩次離子注入。做了兩次，現(xiàn)在對材料進(jìn)行刻蝕，但是總是達(dá)不到效果。 所以想對材料進(jìn)行一下檢驗，對離子注入的劑量和能量等參數(shù)進(jìn)行一下檢驗。 不知道用什么方法可以進(jìn)行檢驗？ 謝謝 |
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2樓2013-09-16 11:15:09
seameetland
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3樓2013-09-24 15:28:11
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4樓2013-09-24 16:52:28
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5樓2013-09-24 22:07:38
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