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坩堝下降法生長氟化鎂晶體放肩多晶如何消除
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坩堝下降法生長氟化鎂晶體，有時候會遇到爐子不穩(wěn)定的情況生長出多晶晶體，有時候不動再次生長又是單晶，一般在籽晶部分沒啥問題，問題基本都出在從籽晶部分長出后圓錐放肩的部分，等到等徑部分一般就沒啥問題了。有些爐子可以穩(wěn)定的出好多塊單晶，有的爐子出單晶多晶概率在一半一半，還有的就差一些。有些爐子這段時間連續(xù)出單晶，過些日子就連續(xù)出多晶了，不調(diào)整，有時候又出單晶了，有時候回不來了。石墨坩堝，長直徑10厘米以上的晶體，大家覺得主要影響因素是哪些？在你的經(jīng)驗中，那個是最主要。溫場，爐內(nèi)溫度波動，環(huán)境溫度波動，籽晶質(zhì)量，控溫高低，籽晶桿的水冷位置、流量或溫度，坩堝托的長度，生長界面形狀，生長界面的高低，擴(kuò)肩角度，起始引下位置，熔液熔化好壞，引下速度。 另外還有個困惑，一半理論上來說，生長界面位置比隔板高一點容易晶體長完了是凸界面。但有人認(rèn)為引下完成后晶體表面停留的位置是影響晶體上表面凹凸的主要因素，如果引下過多就是凹界面，引下停留位置較高就是凸界面。你們有這個感覺嗎？如果是這樣，有什么道理？是高溫塑性形變引起的嗎？ |
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