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w778023076

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AES利用電子束轟擊樣品，造成樣品電子束損傷的問(wèn)題已有4人參與

利用電子束技術(shù)，可以得到樣品內(nèi)各種信息，從而催生了SEM/TEM/AES等的開(kāi)發(fā)和普及。但是當(dāng)電子束轟擊樣品時(shí)，會(huì)造成電子束損傷，如樣品局部結(jié)構(gòu)改變甚至部分樣品熔融，想請(qǐng)教大家一個(gè)問(wèn)題，初次電子束束斑大小（30nm/100nm/1μm）、束流（0.25nA/10nA/1μA）和電子束能量（3keV/10keV/50keV/100keV）分別造成多大的電子損傷，特別是在樣品內(nèi)會(huì)產(chǎn)生多高的溫度？不知道大家有沒(méi)有這方面的資料和文獻(xiàn)，謝謝啦

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1樓 2013-10-10 08:39:25

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gxytju2008

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跟材料，導(dǎo)電性都有關(guān)系，很難說(shuō)的，我做過(guò)導(dǎo)電性比較好熔點(diǎn)在200度的材料，不會(huì)化

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4樓2013-10-10 14:44:58

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tana3599102

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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

這個(gè)好像取決于所用的材料吧！

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2樓2013-10-10 10:43:46

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2樓: Originally posted by tana3599102 at 2013-10-10 10:43:46
這個(gè)好像取決于所用的材料吧！

跟材料的熱導(dǎo)率也有關(guān)系，Egerton R F, Li P, Malac M. Radiation damage in the TEM and SEM[J]. Micron, 2004, 35(6): 399-409.這篇文章中具體提到了引起的溫度變化，我覺(jué)得他說(shuō)的是平均溫度，我想知道電子束達(dá)到材料表面瞬時(shí)會(huì)不會(huì)引起高溫，導(dǎo)致退火偏析等，具體溫度會(huì)有多高。

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3樓2013-10-10 10:52:38

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引用回帖:

4樓: Originally posted by gxytju2008 at 2013-10-10 14:44:58
跟材料，導(dǎo)電性都有關(guān)系，很難說(shuō)的，我做過(guò)導(dǎo)電性比較好熔點(diǎn)在200度的材料，不會(huì)化

在文獻(xiàn)中大多提到的電子束效應(yīng)引起的溫度變化主要與樣品熱導(dǎo)率、電子劑量有關(guān)，引起的溫度變化也是非常小的，一般只有幾個(gè)k，我覺(jué)得這是平均溫度，但是電子束作用點(diǎn)下的瞬時(shí)溫度是多大，會(huì)不會(huì)引起沸點(diǎn)比較小的樣品蒸發(fā)，如分析沸點(diǎn)小的包裹體，打下去會(huì)不會(huì)就揮發(fā)消失了，如果會(huì)，電子束劑量需要達(dá)到多大？

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5樓2013-10-10 16:52:31

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