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mikeekeyou銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
向大家請教一個(gè)關(guān)于硅的濕法腐蝕的相關(guān)問題。。 已有1人參與
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| 最近做單晶硅的濕法腐蝕，遇到一個(gè)問題請教大家，請問有沒有一種或幾種合適的腐蝕溶液，能只對硅進(jìn)行各向同性的腐蝕，而不會對硅旁邊的氧化硅和掩膜材料光刻膠有腐蝕呢？？實(shí)驗(yàn)緊急，請大家指教啊。。。 |
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靜靜一yi
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2樓2013-10-23 18:07:30
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3樓2013-10-23 18:08:37
mikeekeyou
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4樓2013-10-25 08:23:48
5樓2014-11-18 19:09:51
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