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mikeekeyou銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
向大家請教一個關于硅的濕法腐蝕的相關問題。。 已有1人參與
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| 最近做單晶硅的濕法腐蝕,遇到一個問題請教大家,請問有沒有一種或幾種合適的腐蝕溶液,能只對硅進行各向同性的腐蝕,而不會對硅旁邊的氧化硅和掩膜材料光刻膠有腐蝕呢??實驗緊急,請大家指教啊。。。 |
銅蟲 (小有名氣)
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