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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 半導體 » 襯底偏角的測試
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[求助]
襯底偏角的測試
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| 有哪位大蝦知道如何精確測量外延襯底的偏角嗎？我測的是Si，實驗要求精確到0.01°，但是現(xiàn)在測出來有0.1°的誤差，SiC，藍寶石或Si的都行。 |
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wu1008
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