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襯底偏角的測(cè)試
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| 有哪位大蝦知道如何精確測(cè)量外延襯底的偏角嗎？我測(cè)的是Si，實(shí)驗(yàn)要求精確到0.01°，但是現(xiàn)在測(cè)出來(lái)有0.1°的誤差，SiC，藍(lán)寶石或Si的都行。 |
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wu1008
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
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2樓2013-12-30 00:02:39
3樓2014-02-16 15:22:19
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