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cz.87101木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
求助：有沒(méi)有對(duì)光刻膠特別熟悉的，想了解一些光刻膠的信息 已有2人參與
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光刻膠種類(lèi)很多，紫外、深紫外、電子束等各種光刻方式不同，用的膠也不一樣，想了解： ①每個(gè)光刻波段用的什么膠，關(guān)鍵是膠成分（阻聚劑、感光劑、聚合物等具體成分） 比如紫外用 光刻膠Su-8正膠，具體成分是什么？百度也沒(méi)查到 不知有沒(méi)有專(zhuān)家，能否分享點(diǎn)資料，多謝！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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cz.87101: 金幣+8, ★★★很有幫助, 已經(jīng)查閱了一部分專(zhuān)利，還是灰常謝謝�。。� 2014-04-18 21:35:36
cz.87101: 金幣+8, ★★★很有幫助, 已經(jīng)查閱了一部分專(zhuān)利，還是灰常謝謝�。。� 2014-04-18 21:35:36
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不同種類(lèi)的光刻膠成分完全不同，原理上也略有差別。 通過(guò)百度是搜不到有用的資料的。 比較著名的膠的種類(lèi)在wiki上都有詳細(xì)的介紹，比如SU-8（注意是負(fù)膠），就是環(huán)氧樹(shù)脂基的。DNQ類(lèi)型的膠，就是酚醛樹(shù)脂的。wiki上你搜索photoresist之類(lèi)的詞，還會(huì)有很多擴(kuò)展信息，自然科學(xué)方面wiki還是非常不錯(cuò)的（文科的詞條就是渣了）。 還有幾個(gè)方法可以查到，根據(jù)光刻膠的名字搜索MSDS。 根據(jù)光刻膠的名稱(chēng)搜索專(zhuān)利。 最容易的辦法，是找專(zhuān)門(mén)的講光刻膠的書(shū)籍。記得化學(xué)工業(yè)出版社出過(guò)一本中文的，其他的就要靠老外的書(shū)了。 |
7樓2014-04-18 17:51:34
8樓2015-05-23 20:35:14
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