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我要做實(shí)驗(yàn)銅蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
霍爾系統(tǒng)測(cè)試薄膜的問(wèn)題 已有1人參與
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請(qǐng)教各位蟲(chóng)友們, 1在霍爾測(cè)試時(shí),設(shè)定的薄膜厚度比實(shí)際的薄膜厚度大的話(huà),測(cè)量結(jié)果中的電阻率會(huì)偏大還是偏?如何糾正回來(lái)?還有這種設(shè)置會(huì)對(duì)載流子濃度與霍爾遷移率造成什么影響?會(huì)變大、變小還是 不變? 2.霍爾測(cè)量中的內(nèi)部原理是什么?就是測(cè)試結(jié)果中給出的那些數(shù)值之間都是什么關(guān)系,比如電阻率、方阻、遷移率、載流子濃度等?】 望各位蟲(chóng)友不吝賜教!小蟲(chóng)我在這里謝過(guò)各位了! |
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1.比實(shí)際薄膜厚測(cè)出的電阻率很偏大.糾正方法就是測(cè)出來(lái)的電阻率*實(shí)際厚度/設(shè)定厚度=實(shí)際電阻率。對(duì)霍爾遷移率沒(méi)有影響,對(duì)載流子濃度有影響,載流子濃度會(huì)偏小,測(cè)出的載流子濃度*設(shè)定厚度/實(shí)際厚度=實(shí)際載流子濃度。 2.霍爾測(cè)量的原理可以查閱半導(dǎo)體物理相關(guān)書(shū)籍,上面很詳細(xì)介紹,主要就是在磁場(chǎng)作用下電子的移動(dòng)。電阻率=1/(載流子濃度*遷移率*e),方電阻約等于電阻率/薄膜厚度。 |
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