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我要做實(shí)驗(yàn)銅蟲(chóng) (小有名氣)
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霍爾系統(tǒng)測(cè)試薄膜的問(wèn)題 已有1人參與
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請(qǐng)教各位蟲(chóng)友們， 1在霍爾測(cè)試時(shí)，設(shè)定的薄膜厚度比實(shí)際的薄膜厚度大的話，測(cè)量結(jié)果中的電阻率會(huì)偏大還是偏��？如何糾正回來(lái)？還有這種設(shè)置會(huì)對(duì)載流子濃度與霍爾遷移率造成什么影響？會(huì)變大、變小還是 不變？ 2.霍爾測(cè)量中的內(nèi)部原理是什么？就是測(cè)試結(jié)果中給出的那些數(shù)值之間都是什么關(guān)系，比如電阻率、方阻、遷移率、載流子濃度等？】 望各位蟲(chóng)友不吝賜教！小蟲(chóng)我在這里謝過(guò)各位了！ |
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4樓2014-04-06 14:00:31
【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
sddtc888: 金幣+1, 感謝應(yīng)助，歡迎常來(lái)！ 2014-03-06 08:25:25
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sddtc888: 金幣+1, 感謝應(yīng)助，歡迎常來(lái)！ 2014-03-06 08:25:25
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1.比實(shí)際薄膜厚測(cè)出的電阻率很偏大.糾正方法就是測(cè)出來(lái)的電阻率*實(shí)際厚度/設(shè)定厚度=實(shí)際電阻率。對(duì)霍爾遷移率沒(méi)有影響，對(duì)載流子濃度有影響，載流子濃度會(huì)偏小，測(cè)出的載流子濃度*設(shè)定厚度/實(shí)際厚度=實(shí)際載流子濃度。 2.霍爾測(cè)量的原理可以查閱半導(dǎo)體物理相關(guān)書(shū)籍，上面很詳細(xì)介紹，主要就是在磁場(chǎng)作用下電子的移動(dòng)。電阻率=1/(載流子濃度*遷移率*e)，方電阻約等于電阻率/薄膜厚度。 |
2樓2014-03-05 18:06:20
3樓2014-03-05 18:07:35
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