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我要做實(shí)驗(yàn)銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
霍爾系統(tǒng)測試薄膜的問題 已有1人參與
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請教各位蟲友們， 1在霍爾測試時，設(shè)定的薄膜厚度比實(shí)際的薄膜厚度大的話，測量結(jié)果中的電阻率會偏大還是偏小？如何糾正回來？還有這種設(shè)置會對載流子濃度與霍爾遷移率造成什么影響？會變大、變小還是 不變？ 2.霍爾測量中的內(nèi)部原理是什么？就是測試結(jié)果中給出的那些數(shù)值之間都是什么關(guān)系，比如電阻率、方阻、遷移率、載流子濃度等？】 望各位蟲友不吝賜教！小蟲我在這里謝過各位了！ |
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3樓2014-03-05 18:07:35
【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
sddtc888: 金幣+1, 感謝應(yīng)助，歡迎常來！ 2014-03-06 08:25:25
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sddtc888: 金幣+1, 感謝應(yīng)助，歡迎常來！ 2014-03-06 08:25:25
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1.比實(shí)際薄膜厚測出的電阻率很偏大.糾正方法就是測出來的電阻率*實(shí)際厚度/設(shè)定厚度=實(shí)際電阻率。對霍爾遷移率沒有影響，對載流子濃度有影響，載流子濃度會偏小，測出的載流子濃度*設(shè)定厚度/實(shí)際厚度=實(shí)際載流子濃度。 2.霍爾測量的原理可以查閱半導(dǎo)體物理相關(guān)書籍，上面很詳細(xì)介紹，主要就是在磁場作用下電子的移動。電阻率=1/(載流子濃度*遷移率*e)，方電阻約等于電阻率/薄膜厚度。 |
2樓2014-03-05 18:06:20
4樓2014-04-06 14:00:31
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