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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 無機/物化 » 綜合其它 » 磁控濺射氧化鋁和氧化鋅
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[求助]
磁控濺射氧化鋁和氧化鋅 已有2人參與
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我剛剛接觸磁控濺射，做了氧化物TFT器件，，氧化鋁做絕緣層，氧化鋅為有源層，制備完之后，發(fā)現(xiàn)器件很容易被擊穿，沒有一點場效應，電流還有隨著電壓增大下降的趨勢，猜想可能是氧化鋁太薄，但是加大膜厚后，依然如此，而且感覺有源層濺射的也不均勻，濺射設(shè)備是三個靶，頭碰頭，基片可以旋轉(zhuǎn)，沒有充氧，也沒有使用退火，我想問一下有沒有遇到過這種情況的？應該怎么解決？謝謝！ [ Last edited by sddtc888 on 2014-3-17 at 10:54 ] |
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3樓2014-03-17 09:17:02
2樓2014-03-15 20:54:14
塵隱土
木蟲 (正式寫手)
貧困區(qū)
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小珠珠alone4樓2014-03-17 22:33:32
5樓2014-03-19 19:59:43
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