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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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luoxi88

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[求助] 用sem看的的厚度明顯比afm要厚猜測(cè)是很薄的在sem下看不到用什么儀器可以看到啊已有4人參與

新手上路求諸位大神指教啊，感激不盡！

問幾個(gè)納米厚的片狀材料在什么儀器下能看到用sem看的的厚度明顯比afm要厚猜測(cè)是很薄的在sem下看不到那在什么儀器下可以看到�。�

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1樓 2014-03-17 14:38:52

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peterflyer

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AFM看到的應(yīng)該是表面的不平度而不是截面的厚度吧？另外，要想看到的厚度尺寸準(zhǔn)確，必須使厚度方向垂直于觀察方向，若偏斜了，看到的自然比實(shí)際的要厚了。

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2樓2014-03-17 15:04:28

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SEM應(yīng)該能看到的，是不是分辨率不對(duì) 不行就用TEM

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3樓2014-03-17 15:06:47

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幾個(gè)納米已經(jīng)超出SEM分辨能力了，用AFM就行了。

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4樓2014-03-17 15:07:12

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luoxi88

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3樓: Originally posted by happy3236 at 2014-03-17 15:06:47
SEM應(yīng)該能看到的，是不是分辨率不對(duì) 不行就用TEM

SEM看到的比在AFM下面看到的厚，我覺得是不是幾個(gè)納米的薄片在sem下面看不到啊？可是TEM怎么看厚度方向��？

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5樓2014-03-17 16:26:13

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2樓: Originally posted by peterflyer at 2014-03-17 15:04:28
AFM看到的應(yīng)該是表面的不平度而不是截面的厚度吧？另外，要想看到的厚度尺寸準(zhǔn)確，必須使厚度方向垂直于觀察方向，若偏斜了，看到的自然比實(shí)際的要厚了。

哦這樣子有道理那我把樣品分散在硅片上用AFM測(cè) 測(cè)到的不平度應(yīng)該可以看做是厚度吧？

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6樓2014-03-17 16:28:53

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6樓: Originally posted by luoxi88 at 2014-03-17 16:28:53
哦這樣子有道理那我把樣品分散在硅片上用AFM測(cè) 測(cè)到的不平度應(yīng)該可以看做是厚度吧？...

把薄膜重新在液相中分散難道不會(huì)嚴(yán)重改變薄膜的厚度等參數(shù)嗎？

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7樓2014-03-17 17:53:03

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gxytju2008

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幾個(gè)nm肯定SEM看不了了，電子束都打穿了，如果想試試可以降低加速電壓到5kv一下，比如2kv試試，如果好剝離的話可以試試TEM，看厚度的話用AFM可以想辦法用刀畫個(gè)線啥的，把基底露出來就知道真實(shí)厚度了

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8樓2014-03-17 17:55:09

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