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138dong金蟲 (正式寫手)
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[求助]
直流磁控濺射制備DLC，靶功率源的電壓一直飆升，請問大神們是什么原因？ 已有1人參與
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| 用直流磁控濺射石墨靶制備DLC，外加離子源輔助，現(xiàn)在遇到的問就是靶功率源那里，調(diào)節(jié)電流為0.2A不變，電壓剛開始就偏高，為500V，20Min后變?yōu)?20V，半小時后電壓竟然為840V了。通入的氣體是氬氣，前期放電不穩(wěn)定，后期較穩(wěn)定（藍光），請問大神們電壓飆升是什么原因？ |
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5樓2015-09-15 14:43:32
2樓2014-04-09 15:17:07
138dong
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
3樓2014-04-09 21:48:20
4樓2014-04-10 08:55:16
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