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[求助]
Al膜方阻測(cè)量。 已有3人參與
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Al的電阻率是2.83*10-6Ω·cm，理論計(jì)算Al薄膜厚度為3um時(shí)的方阻值為0.943mΩ/□（計(jì)算方法：電阻率/薄膜厚度），測(cè)量Al靶材的方阻8mΩ/□左右，Al靶材的厚度為6mm。 我用磁控濺射制備3um厚度的Al薄l膜，基底是玻璃，用四探針測(cè)量其方阻值為50mΩ左右，與理論值差距太大了，不知道是我理論計(jì)算有問(wèn)題還是靶材有問(wèn)題，求高人指教！ |
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7樓2014-04-14 15:35:45
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