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[求助]
氮化鋁薄膜電阻率的有關(guān)問題
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| 用磁控濺射法制備的氮化鋁陶瓷薄膜，用四點(diǎn)探針法測(cè)出來電阻率，數(shù)量級(jí)為-7次方，為什么，與實(shí)際的差別也太大了，請(qǐng)問是什么原因?qū)е逻@種結(jié)果，可能的原因說什么的，急求 |
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