 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 1340 | 回復: 11 | ||
[求助]
請教光刻掩模瞬態(tài)熱分析問題 已有2人參與
|
|
小弟現(xiàn)從事X射線光刻方向研究，遇到了關于掩模在同步輻射光照射下的瞬態(tài)熱分析問題。 現(xiàn)有一有效面積為直徑83mm的圓形掩模，在垂直帶寬為8mm的光束以20mm/sec的速度掃描照射下，使用ANSYS對整個掩模進行瞬態(tài)熱分析，應該如何進行？ 模型描述：掩模受照射的面積為直徑83mm的圓形，掃描開始時光束以200mm/sec^2的加速度開始從距離掩模2mm的位置起步，前沿到達掩模后轉(zhuǎn)為20mm/sec的勻速通過照射區(qū)域，當后端離開時以200mm/sec^2的減速度減速，停止后重新開始反向加速，重復之前的過程。 目前的思路是: 1. 使用Matlab求出在給定時間步長下的光帶端點坐標，建立以時間為參考的坐標系統(tǒng)來描述變化的受照射區(qū)域；2. 將得到的實時面積代入ANSYS中，使用APDL來施加變化的移動熱載荷于掩模上，熱載荷類型為內(nèi)部生熱；3. 進行瞬態(tài)熱分析，以第1步Matlab中的時間步長為基準。 發(fā)現(xiàn)難點是這個移動熱載荷不只有位移，同時還有面積的變化，請教各位高人應當如何處理？多謝賜教 Model1.jpg 3.jpg 2.jpg |
回復此樓» 猜你喜歡
280求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復
-
環(huán)境領域全國重點實驗室招收博士1-2名
已經(jīng)有5人回復
-
303求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復
-
290求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復
-
0703化學求調(diào)劑 總分331
已經(jīng)有3人回復
-
一志愿天津大學化學工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復
-
0703化學調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
材料，紡織，生物（0856、0710），化學招生啦
已經(jīng)有9人回復
-
一志愿中國海洋大學，生物學，301分，求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
0703化學調(diào)劑 ，六級已過，有科研經(jīng)歷
已經(jīng)有9人回復
» 本主題相關價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 問一個Cr作模板深刻蝕SiO2和Si的問題
已經(jīng)有10人回復
- 請教：哪位知道SU-8光刻膠用什么溶液溶解后可以和甲苯溶液混合？
已經(jīng)有3人回復
- SU-8負性光刻 溶劑
已經(jīng)有12人回復
- 請教 光刻膠PMMA 的使用
已經(jīng)有7人回復
- 可以用負膠做掩�？涛g氮化硅嗎？
已經(jīng)有7人回復
- 【求助】光刻板的問題
已經(jīng)有9人回復
- 【請教】光刻失敗后 大家是如何清洗SiO2上的光刻膠的
已經(jīng)有19人回復
- 【請教】正性光刻膠溶于堿性溶液？？？
已經(jīng)有15人回復
- 【求助】光刻膠顯影
已經(jīng)有9人回復
2樓2014-05-14 08:02:16
3樓2014-05-14 10:37:51
4樓2014-05-14 13:13:44
5樓2014-05-14 23:38:37
6樓2015-06-29 17:07:25
Kingchan01
新蟲 (正式寫手)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 4585.1
- 散金: 50
- 帖子: 834
- 在線: 3.4小時
- 蟲號: 11144511
- 注冊: 2018-11-04
- 性別: GG
- 專業(yè): 光子與光電子器件
7樓2019-12-22 20:29:06
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
8樓2020-01-02 10:00:01
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
9樓2020-01-03 11:27:47
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
10樓2020-01-04 15:13:25
相關版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 chs724 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 268求調(diào)劑 +6 | 簡單點0 2026-03-17 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料專碩306英一數(shù)二 +9 | z1z2z3879 2026-03-16 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料專碩326求調(diào)劑 +6 | 墨煜姒莘 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[論文投稿] 有沒有大佬發(fā)小論文能帶我個二作 +3 | 增銳漏人 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑 +3 | 聽風就是雨； 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 機械專碩325，尋找調(diào)劑院校 +3 | y9999 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0854控制工程 359求調(diào)劑 可跨專業(yè) +3 | 626776879 2026-03-14 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | ahbd 2026-03-14 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +3 | 曼殊2266 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑 +10 | 小樓。 2026-03-12 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 277材料科學與工程080500求調(diào)劑 +3 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學調(diào)劑 290分有科研經(jīng)歷，論文在投 +7 | 膩膩gk 2026-03-14 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +4 | 威化餅07 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑（材料與化工327） +4 | 愛吃香菜啦 2026-03-11 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料工程調(diào)劑 +9 | 咪咪空空 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 求材料調(diào)劑 +5 | 隔壁陳先生 2026-03-12 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0703化學一志愿211 總分320求調(diào)劑 +5 | 瑪卡巴卡啊哈 2026-03-11 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 315求調(diào)劑 +9 | 小羊小羊_ 2026-03-11 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 材料與化工085600調(diào)劑求老師收留 +9 | jiaanl 2026-03-11 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 283求調(diào)劑，材料、化工皆可 +8 | 蘇打水7777 2026-03-11 | 10/500 |
|