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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
純金屬濺射靶電壓提不上來怎么回事 已有2人參與
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| 我直流磁控濺射純鋁，但是電流可以增大，電壓一直在200V左右，以前的電壓會(huì)在400V以上的。濺射的輝光是紅色的，靶表面有氧化物，但是靶表面有氧化物不是電流升不高，電壓比較高的嘛，很納悶，不知道如何解釋。哪位高手能解答？ |
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