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theoldboy新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
橢圓偏振光譜儀運(yùn)用Deltapsi2軟件模
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| 各位大神，我是今年研一的小師弟，我做的是層層組裝有機(jī)無(wú)機(jī)復(fù)合薄膜材料，基底是硅片，對(duì)于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的橢圓偏振光譜儀，運(yùn)用Deltapsi2軟件模擬，，運(yùn)用Cauchy’s Absorbent模式測(cè)量膜厚度的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)剛開(kāi)始幾層，擬合的偏差比較小，到后來(lái)十幾層之后，偏差比較大，我嘗試修改柯西方程的參數(shù)，步長(zhǎng)等，但是發(fā)現(xiàn)對(duì)于偏差沒(méi)有什么明顯的改變。我用的是HORIBA JOBIN YVON的橢偏儀，使用的掃面波長(zhǎng)范圍是600--800nm。補(bǔ)充說(shuō)明一下，是不是因?yàn)殡S著薄膜的厚度增加之后，透光性沒(méi)有之前那么好，光的散射對(duì)測(cè)定的影響比較大了導(dǎo)致的擬合偏差。那么我用柯西吸收的模型運(yùn)算，擬合偏差較小，那么這種結(jié)果是否可靠？ |
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2樓2016-07-06 18:26:00
3樓2016-09-01 14:49:07
theoldboy
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4樓2016-09-02 12:39:24
theoldboy
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不好意思，今天才看到。說(shuō)實(shí)話，我并沒(méi)有解決我的困惑�？挛魍干浜涂挛魑漳Ｊ蕉荚囘^(guò)了的，最后是只要擬合曲線與實(shí)際的點(diǎn)偏差很小，大概是小于0.2左右吧，就按照擬合出來(lái)的數(shù)據(jù)記錄了。后來(lái)厚度較大的膜，我是做掃描電鏡看的斷面厚度。如果太薄的膜 比如說(shuō)幾個(gè)納米到幾十納米的 我個(gè)人感覺(jué)橢偏儀擬合出來(lái)的結(jié)果還是比較靠譜的，你可以做AFM掃描劃痕驗(yàn)證一下。實(shí)際上，對(duì)于我做的膜，有時(shí)候擬合偏差值都很小，但是當(dāng)你把柯西參數(shù)A,B值稍微改變一點(diǎn)點(diǎn)，計(jì)算出來(lái)的膜厚度差距比較大。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
5樓2016-09-02 12:54:59
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6樓2018-10-05 20:48:12
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7樓2018-10-05 20:49:33
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8樓2018-10-05 20:50:44
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