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theoldboy新蟲 (正式寫手)
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[求助]
橢圓偏振光譜儀運用Deltapsi2軟件模
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| 各位大神,我是今年研一的小師弟,我做的是層層組裝有機無機復合薄膜材料,基底是硅片,對于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的橢圓偏振光譜儀,運用Deltapsi2軟件模擬,,運用Cauchy’s Absorbent模式測量膜厚度的時候,發(fā)現(xiàn)剛開始幾層,擬合的偏差比較小,到后來十幾層之后,偏差比較大,我嘗試修改柯西方程的參數(shù),步長等,但是發(fā)現(xiàn)對于偏差沒有什么明顯的改變。我用的是HORIBA JOBIN YVON的橢偏儀,使用的掃面波長范圍是600--800nm。補充說明一下,是不是因為隨著薄膜的厚度增加之后,透光性沒有之前那么好,光的散射對測定的影響比較大了導致的擬合偏差。那么我用柯西吸收的模型運算,擬合偏差較小,那么這種結果是否可靠? |
新蟲 (正式寫手)
新蟲 (正式寫手)
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不好意思,今天才看到。說實話,我并沒有解決我的困惑?挛魍干浜涂挛魑漳J蕉荚囘^了的,最后是只要擬合曲線與實際的點偏差很小,大概是小于0.2左右吧,就按照擬合出來的數(shù)據(jù)記錄了。后來厚度較大的膜,我是做掃描電鏡看的斷面厚度。如果太薄的膜 比如說幾個納米到幾十納米的 我個人感覺橢偏儀擬合出來的結果還是比較靠譜的,你可以做AFM掃描劃痕驗證一下。實際上,對于我做的膜,有時候擬合偏差值都很小,但是當你把柯西參數(shù)A,B值稍微改變一點點,計算出來的膜厚度差距比較大。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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