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theoldboy新蟲 (正式寫手)
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[求助]
橢圓偏振光譜儀運(yùn)用Deltapsi2軟件模
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| 各位大神,我是今年研一的小師弟,我做的是層層組裝有機(jī)無機(jī)復(fù)合薄膜材料,基底是硅片,對(duì)于HORIBA JOBIAN YVON UVISEL 的橢圓偏振光譜儀,運(yùn)用Deltapsi2軟件模擬,,運(yùn)用Cauchy’s Absorbent模式測(cè)量膜厚度的時(shí)候,發(fā)現(xiàn)剛開始幾層,擬合的偏差比較小,到后來十幾層之后,偏差比較大,我嘗試修改柯西方程的參數(shù),步長(zhǎng)等,但是發(fā)現(xiàn)對(duì)于偏差沒有什么明顯的改變。我用的是HORIBA JOBIN YVON的橢偏儀,使用的掃面波長(zhǎng)范圍是600--800nm。補(bǔ)充說明一下,是不是因?yàn)殡S著薄膜的厚度增加之后,透光性沒有之前那么好,光的散射對(duì)測(cè)定的影響比較大了導(dǎo)致的擬合偏差。那么我用柯西吸收的模型運(yùn)算,擬合偏差較小,那么這種結(jié)果是否可靠? |
新蟲 (正式寫手)
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不好意思,今天才看到。說實(shí)話,我并沒有解決我的困惑?挛魍干浜涂挛魑漳J蕉荚囘^了的,最后是只要擬合曲線與實(shí)際的點(diǎn)偏差很小,大概是小于0.2左右吧,就按照擬合出來的數(shù)據(jù)記錄了。后來厚度較大的膜,我是做掃描電鏡看的斷面厚度。如果太薄的膜 比如說幾個(gè)納米到幾十納米的 我個(gè)人感覺橢偏儀擬合出來的結(jié)果還是比較靠譜的,你可以做AFM掃描劃痕驗(yàn)證一下。實(shí)際上,對(duì)于我做的膜,有時(shí)候擬合偏差值都很小,但是當(dāng)你把柯西參數(shù)A,B值稍微改變一點(diǎn)點(diǎn),計(jì)算出來的膜厚度差距比較大。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
新蟲 (正式寫手)
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