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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 新能源材料 » 多晶硅濕法刻蝕
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pq33714金蟲 (正式寫手)
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[求助]
多晶硅濕法刻蝕 已有1人參與
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| 求多晶硅濕法刻蝕的工藝，溶液配比，實(shí)驗(yàn)條件。謝謝 |
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weirensi
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2樓2014-07-03 21:29:35
pq33714
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3樓2014-07-04 00:55:59
weirensi
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【答案】應(yīng)助回帖
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pq33714: 金幣+10, 謝謝 2014-07-04 11:30:41
pq33714: 金幣+10, 謝謝 2014-07-04 11:30:41
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我找的一些文獻(xiàn)，自己試過硅片上的HF、HNO3、乙酸刻蝕，效果還可以，就是速度不太好控制，你可以自己調(diào)一下。 |
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2014-07-04 09:38:08, 9.51 M
4樓2014-07-04 09:40:31
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