 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 561 | 回復(fù): 2 | ||||
jyhit金蟲 (小有名氣)
|
[求助]
怎么控制化學(xué)氣相沉積 膜的成分 已有1人參與
|
| 我現(xiàn)在用CVD方法沉積薄膜，薄膜有兩種元素A，B, 我分別用含有A和B成分的兩種氣體通入反應(yīng)室進(jìn)行沉積。 最后得到的膜的成分總是A的含量比B含量高很多，成分不均勻?qū)е卤∧さ慕Y(jié)構(gòu)達(dá)不到我想要的效果。即使我通入的含有B元素的氣體流量遠(yuǎn)大于A氣體，結(jié)果還是A含量大于B含量。什么原因會造成這種情況？是A元素更容易吸附嗎？薄膜沉積過程應(yīng)該沒有化學(xué)反應(yīng)，因?yàn)槲矣昧藷釤艚z，氣體已經(jīng)被分解了。利用熱燈絲輔助沉積得到了只含有A,B成分的薄膜，但是A,B元素比例不對。 有沒有什么方法可以解決。跪求高手指教。萬分感謝。 |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 表面工程 |
» 猜你喜歡
南京林業(yè)大學(xué)國家工程中心李海濤教授課題組招收研究生
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
擬解決的關(guān)鍵科學(xué)問題還要不要寫
已經(jīng)有21人回復(fù)
-
建筑環(huán)境與結(jié)構(gòu)工程論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有293人回復(fù)
-
[導(dǎo)師招生]全獎(jiǎng)博士生招生—香港都會大學(xué)
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
一志愿中石油（華東），0854電子信息專碩392分，求調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
西京學(xué)院-土木水利2026研究生-結(jié)構(gòu)抗震與智能檢測
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
西京學(xué)院-土木水利2026研究生-高性能結(jié)構(gòu)與智能材料
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
【調(diào)劑申請】土木水利（總分314，一志愿哈工大）
已經(jīng)有2人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 求助《玻璃陶瓷化學(xué)成分分析》或者和玻璃原材料有關(guān)的化學(xué)分析
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 請教化學(xué)氣相沉積法
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 請問化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別？越詳細(xì)越好啊
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 怎么根據(jù)玻璃化學(xué)成分判斷是鈉鈣硅玻璃還是硼酸鹽玻璃
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 怎樣測薄膜的化學(xué)成分
已經(jīng)有5人回復(fù)
- CVD（化學(xué)氣相沉積）方法 為什么不能制備很厚的薄膜
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 不銹鋼基體上制備二氧化硅凝膠膜在800度的高溫下會熔融嗎？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 石油中瀝青質(zhì)和膠質(zhì)的化學(xué)成分分析
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 石墨烯能否在Sio2或Si基體上用化學(xué)氣相沉積法長成？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 喬木的木質(zhì)部有什么化學(xué)成分？研究木材化學(xué)成分有意義么？
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 化學(xué)氣相沉積生長ZnO納米線
已經(jīng)有35人回復(fù)
- 【交流】用PECVD法 在單晶硅表面 制備氮化硅 的顏色 與哪些因數(shù)有關(guān)？？？？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【請教】怎么測試等離子化學(xué)氣相沉積（PECVD）的氮化硅薄膜內(nèi)應(yīng)力？
已經(jīng)有5人回復(fù)
2樓2014-08-18 16:43:38
xiejf
專家顧問 (文學(xué)泰斗)
麥麥爸爸愛小牛
-
專家經(jīng)驗(yàn): +509 - CM-EPI: 3
- 應(yīng)助: 2943 (講師)
- 貴賓: 2.534
- 金幣: 109978
- 散金: 58010
- 紅花: 693
- 沙發(fā): 2
- 帖子: 84694
- 在線: 3387.6小時(shí)
- 蟲號: 1003879
- 注冊: 2010-04-23
- 性別: GG
- 專業(yè): 固體無機(jī)化學(xué)
- 管轄: 復(fù)合材料
3樓2014-08-19 13:30:48
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 jyhit 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 本科新能源科學(xué)與工程，一志愿華理能動285求調(diào)劑 +3 | AZMK 2026-03-28 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 346求調(diào)劑 一志愿070303有機(jī)化學(xué) +3 | 蘿卜燉青菜 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +11 | zhn03 2026-03-25 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料與化工方向336分 +8 | 辰沐5211314 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +4 | 丟掉懶惰 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0856材料化工調(diào)劑 總分330 +10 | zhubinhao 2026-03-27 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 零八# 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿南師大0703化學(xué) 275求調(diào)劑 +4 | Ripcord上岸 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研]
 一志愿 西北大學(xué) 總分282 英語一62 求調(diào)劑
+7
|
18419759900 2026-03-25 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 安徽大學(xué)專碩生物與醫(yī)藥專業(yè)(086000)324分，英語已過四六級，六級521，求調(diào)劑 +4 | 美味可樂雞翅 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 316求調(diào)劑 +5 | Pigcasso 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
|
[考研]
材料學(xué)碩，求調(diào)劑
 6+5
|
糖葫蘆888ll 2026-03-22 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 一志愿北化求調(diào)劑 +3 | Jsman 2026-03-22 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | 崔wj 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 271求調(diào)劑 +6 | 生如夏花… 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料與化工304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +15 | Zhao anqi 2026-03-22 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 材料專碩找調(diào)劑 +5 | 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 344求調(diào)劑 +3 | desto 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 石河子大學(xué)（211、雙一流）碩博研究生長期招生公告 +3 | 李子目 2026-03-22 | 3/150 |
|