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jyhit金蟲 (小有名氣)
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[求助]
怎么控制化學(xué)氣相沉積 膜的成分 已有1人參與
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| 我現(xiàn)在用CVD方法沉積薄膜，薄膜有兩種元素A，B, 我分別用含有A和B成分的兩種氣體通入反應(yīng)室進(jìn)行沉積。 最后得到的膜的成分總是A的含量比B含量高很多，成分不均勻?qū)е卤∧さ慕Y(jié)構(gòu)達(dá)不到我想要的效果。即使我通入的含有B元素的氣體流量遠(yuǎn)大于A氣體，結(jié)果還是A含量大于B含量。什么原因會造成這種情況？是A元素更容易吸附嗎？薄膜沉積過程應(yīng)該沒有化學(xué)反應(yīng)，因?yàn)槲矣昧藷釤艚z，氣體已經(jīng)被分解了。利用熱燈絲輔助沉積得到了只含有A,B成分的薄膜，但是A,B元素比例不對。 有沒有什么方法可以解決。跪求高手指教。萬分感謝。 |
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xiejf
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3樓2014-08-19 13:30:48
2樓2014-08-18 16:43:38
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