 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 555 | 回復(fù): 2 | |||
jyhit金蟲 (小有名氣)
|
[求助]
怎么控制化學(xué)氣相沉積 膜的成分 已有1人參與
|
| 我現(xiàn)在用CVD方法沉積薄膜，薄膜有兩種元素A，B, 我分別用含有A和B成分的兩種氣體通入反應(yīng)室進(jìn)行沉積。 最后得到的膜的成分總是A的含量比B含量高很多，成分不均勻?qū)е卤∧さ慕Y(jié)構(gòu)達(dá)不到我想要的效果。即使我通入的含有B元素的氣體流量遠(yuǎn)大于A氣體，結(jié)果還是A含量大于B含量。什么原因會造成這種情況？是A元素更容易吸附嗎？薄膜沉積過程應(yīng)該沒有化學(xué)反應(yīng)，因為我用了熱燈絲，氣體已經(jīng)被分解了。利用熱燈絲輔助沉積得到了只含有A,B成分的薄膜，但是A,B元素比例不對。 有沒有什么方法可以解決。跪求高手指教。萬分感謝。 |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 表面工程 |
» 猜你喜歡
有外導(dǎo)意向招收2026年CSC聯(lián)培博士嗎
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
南京林業(yè)大學(xué)國家工程中心李海濤教授課題組招收研究生
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
建筑環(huán)境與結(jié)構(gòu)工程論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有69人回復(fù)
-
擬解決的關(guān)鍵科學(xué)問題還要不要寫
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
英國薩里大學(xué)招4個全獎博士2026土木，AI，地理科學(xué)，環(huán)境科學(xué)等方向
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
[導(dǎo)師招生]全獎博士生招生—香港都會大學(xué)
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
一志愿中石油（華東），0854電子信息專碩392分，求調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
西京學(xué)院-土木水利2026研究生-結(jié)構(gòu)抗震與智能檢測
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
西京學(xué)院-土木水利2026研究生-高性能結(jié)構(gòu)與智能材料
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 求助《玻璃陶瓷化學(xué)成分分析》或者和玻璃原材料有關(guān)的化學(xué)分析
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 請教化學(xué)氣相沉積法
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 請問化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別？越詳細(xì)越好啊
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 怎么根據(jù)玻璃化學(xué)成分判斷是鈉鈣硅玻璃還是硼酸鹽玻璃
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 怎樣測薄膜的化學(xué)成分
已經(jīng)有5人回復(fù)
- CVD（化學(xué)氣相沉積）方法 為什么不能制備很厚的薄膜
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 不銹鋼基體上制備二氧化硅凝膠膜在800度的高溫下會熔融嗎？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 石油中瀝青質(zhì)和膠質(zhì)的化學(xué)成分分析
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 石墨烯能否在Sio2或Si基體上用化學(xué)氣相沉積法長成？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 喬木的木質(zhì)部有什么化學(xué)成分？研究木材化學(xué)成分有意義么？
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 化學(xué)氣相沉積生長ZnO納米線
已經(jīng)有35人回復(fù)
- 【交流】用PECVD法 在單晶硅表面 制備氮化硅 的顏色 與哪些因數(shù)有關(guān)？？？？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【請教】怎么測試等離子化學(xué)氣相沉積（PECVD）的氮化硅薄膜內(nèi)應(yīng)力？
已經(jīng)有5人回復(fù)
2樓2014-08-18 16:43:38
xiejf
專家顧問 (文學(xué)泰斗)
麥麥爸爸愛小牛
-
專家經(jīng)驗: +509 - CM-EPI: 3
- 應(yīng)助: 2943 (講師)
- 貴賓: 2.534
- 金幣: 109905
- 散金: 58010
- 紅花: 693
- 沙發(fā): 2
- 帖子: 84674
- 在線: 3387.6小時
- 蟲號: 1003879
- 注冊: 2010-04-23
- 性別: GG
- 專業(yè): 固體無機化學(xué)
- 管轄: 復(fù)合材料
3樓2014-08-19 13:30:48
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 jyhit 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 289求調(diào)劑 +3 | 懷瑾握瑜l 2026-03-20 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 085600材料與化工 +6 | 安全上岸！ 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +8 | 梁梁校校 2026-03-17 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +9 | 梁梁校校 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 一志愿武漢理工材料工程專碩調(diào)劑 +7 | Doleres 2026-03-19 | 7/350 |
|
|
|
[考研]
 271材料工程求調(diào)劑
+7
|
.6lL 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 暗涌afhb 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿]
申請回稿延期一個月，編輯同意了。但系統(tǒng)上的時間沒變，給編輯又寫郵件了，沒回復(fù)
 10+3
|
wangf9518 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 生物學(xué)調(diào)劑招人�。�！ +3 | 山海天嵐 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考博] 東華理工大學(xué)化材專業(yè)26屆碩士博士申請 +8 | zlingli 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085601材料工程專碩求調(diào)劑 +10 | 慕寒mio 2026-03-16 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 0817調(diào)劑 +3 | 沒有答案_ 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 本科鄭州大學(xué)物理學(xué)院，一志愿華科070200學(xué)碩，346求調(diào)劑 +4 | 我不是一根蔥 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中科技大學(xué)，080502，354分求調(diào)劑 +4 | 守候夕陽CF 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 330求調(diào)劑 +3 | 小材化本科 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +5 | 上岸的小葡 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +5 | 素年祭語 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑 +3 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +3 | 劉夢微 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 本科南京大學(xué)一志愿川大藥學(xué)327 +3 | 麥田耕者 2026-03-14 | 3/150 |
|