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志士明君

金蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
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專業(yè): 金屬基復(fù)合材料

[求助] 磁控濺射如何制備氮化硅Si3N4

磁控濺射射頻制備氮化硅Si3N4，如何控制氬氣與氮?dú)獾谋壤蛄髁�，制得Si3N4。再者，我已摸索濺射了10個樣，如何確定生成的便是Si3N4。我做了XRD，尋Si3N4的譜圖。求各位大神指導(dǎo)

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打破常規(guī)活出精彩

1樓 2014-08-21 10:36:01

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

谷小玄

鐵桿木蟲 (正式寫手)

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專業(yè): 無機(jī)非金屬基復(fù)合材料

得到了XRD圖譜應(yīng)該就能分析了吧，樓主要是對圖譜分析沒把握，可以把圖發(fā)上來，讓廣大蟲蟲幫你看看。

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回復(fù)此樓

2樓2014-08-22 08:56:17