 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2185 | 回復(fù): 12 | ||
shucaijing銅蟲 (正式寫手)
|
[求助]
如何在硅片上長300nm的Si02層
|
如何在硅片上長300nm的Si02層？我們組有真空鍍膜機 但需要很高的溫度 且時間長 我用其他的什么方法可以得到那？ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
298-一志愿中國農(nóng)業(yè)大學(xué)-求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
297求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
302求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
266求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
化學(xué)工程321分求調(diào)劑
已經(jīng)有17人回復(fù)
-
344求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
312求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
一志愿天津大學(xué)化學(xué)工藝專業(yè)（081702）315分求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
288求調(diào)劑，一志愿華南理工大學(xué)071005
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
304求調(diào)劑
已經(jīng)有13人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 關(guān)于硅片表面疏水性處理的問題，20金幣，謝謝指點
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 正面長有氮化硅（Si3N4）的硅片怎樣去除硅片背面的薄淡化硅層（~幾nm）
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 紫外可見吸收光譜在200-300nm處峰型很雜而且出現(xiàn)倒峰？
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 熒光光譜中出現(xiàn)了一半于激發(fā)波長的發(fā)射峰，400nm激發(fā)，200nm有發(fā)射，但又不是上轉(zhuǎn)換
已經(jīng)有22人回復(fù)
- 分子量300~500的 化學(xué)物質(zhì)，如何透析出來？請點帖詳看，得到您的幫助，十分感謝！
已經(jīng)有1人回復(fù)
- 求助關(guān)于用PECVD在硅片上生長SiO2的掩膜材料
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 新買的硅片自然條件下氧化層的厚度是多少？
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 【求助】柱層析用的硅膠如何活化？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 【求助】發(fā)射波長與激發(fā)波長會相差300nm嗎
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 【求助】請問如何在硅片上鍍一層二氧化硅薄膜？
已經(jīng)有34人回復(fù)
dwysd
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 66 (初中生)
- 金幣: 3067.2
- 散金: 310
- 紅花: 8
- 帖子: 1975
- 在線: 589.2小時
- 蟲號: 538838
- 注冊: 2008-04-03
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2012-08-25 08:43:58
shucaijing: 金幣+3, ★★★很有幫助, 謝謝你的建議 2012-08-29 09:07:48
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵交流 2012-08-25 08:43:58
shucaijing: 金幣+3, ★★★很有幫助, 謝謝你的建議 2012-08-29 09:07:48
| 一般而言，如果用單質(zhì)Si作為濺射靶材，Ar/O2作為濺射氣體/反應(yīng)氣體，用一般的磁控濺射方法就可以制備SiO2薄膜，沉積速率視靶材大小和濺射功率的大小而定，但只制備300nm厚的SiO2薄膜，不會要太長時間。我曾經(jīng)用該方法制備過微米級的SiO2薄膜，也就是幾個小時而已。 |
2樓2012-08-24 19:56:13
bazhuayuyu
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 57 (初中生)
- 金幣: 2142.7
- 散金: 10
- 紅花: 19
- 帖子: 1091
- 在線: 272.6小時
- 蟲號: 419337
- 注冊: 2007-07-05
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
3樓2012-08-25 17:14:08
4樓2012-09-01 14:37:08
mosleo 
捐助貴賓 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 81 (初中生)
- 金幣: 1100.3
- 散金: 392
- 紅花: 2
- 帖子: 294
- 在線: 38.1小時
- 蟲號: 130005
- 注冊: 2005-12-11
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
5樓2012-09-02 01:25:02
carlos486
至尊木蟲 (著名寫手)
大蟲
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 14746.2
- 散金: 835
- 紅花: 5
- 帖子: 1776
- 在線: 825.4小時
- 蟲號: 240864
- 注冊: 2006-04-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 聚合物共混與復(fù)合材料
6樓2012-11-05 11:21:05
infobright 
銅蟲 (初入文壇)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
7樓2012-12-25 13:58:39
xpengpengx
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 628.7
- 散金: 14
- 紅花: 1
- 帖子: 128
- 在線: 112.4小時
- 蟲號: 2138044
- 注冊: 2012-11-20
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
8樓2012-12-25 16:07:16
dwysd
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 66 (初中生)
- 金幣: 3067.2
- 散金: 310
- 紅花: 8
- 帖子: 1975
- 在線: 589.2小時
- 蟲號: 538838
- 注冊: 2008-04-03
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
9樓2012-12-26 12:04:56
xpengpengx
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 628.7
- 散金: 14
- 紅花: 1
- 帖子: 128
- 在線: 112.4小時
- 蟲號: 2138044
- 注冊: 2012-11-20
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
10樓2012-12-26 16:09:36
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 shucaijing 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +4 | pupcoco 2026-03-17 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 收復(fù)試調(diào)劑生 +3 | 雨后秋荷 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料，紡織，生物（0856、0710），化學(xué)招生啦 +3 | Eember. 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +5 | 大口吃飯 身體健 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑，英語六級551，有科研經(jīng)歷 +3 | 生物工程調(diào)劑 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 285化工學(xué)碩求調(diào)劑（081700） +9 | 柴郡貓_ 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[基金申請]
今年的國基金是打分制嗎？
 50+3
|
zhanghaozhu 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +6 | ytter 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料與化工一志愿南昌大學(xué)327求調(diào)劑推薦 +7 | Ncdx123456 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 26考研一志愿中國石油大學(xué)(華東)305分求調(diào)劑 +3 | 嘉年新程 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 中科大材料專碩319求調(diào)劑 +3 | 孟鑫材料 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)一志愿211 總分320求調(diào)劑 +5 | 瑪卡巴卡啊哈 2026-03-11 | 5/250 |
|
|
|
[考研] （081700）化學(xué)工程與技術(shù)-298分求調(diào)劑 +12 | 11啦啦啦 2026-03-11 | 35/1750 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +3 | 冬十三 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 295求調(diào)劑 +3 | 小匕仔汁 2026-03-12 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +7 | ADT 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 274求調(diào)劑 +3 | S.H1 2026-03-12 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 土木第一志愿276求調(diào)劑，科研和技能十分豐富，求新興方向的導(dǎo)師收留 +3 | 土木小天才 2026-03-12 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 福州大學(xué)楊黃浩課題組招收2026年專業(yè)學(xué)位博士研究生，2026.03.20截止 +3 | Xiangyu_ou 2026-03-12 | 3/150 |
|