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shucaijing銅蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
如何在硅片上長(zhǎng)300nm的Si02層
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如何在硅片上長(zhǎng)300nm的Si02層？我們組有真空鍍膜機(jī) 但需要很高的溫度 且時(shí)間長(zhǎng) 我用其他的什么方法可以得到那？ |
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dwysd
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【答案】應(yīng)助回帖
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shucaijing: 金幣+3, ★★★很有幫助, 謝謝你的建議 2012-08-29 09:07:48
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| 一般而言，如果用單質(zhì)Si作為濺射靶材，Ar/O2作為濺射氣體/反應(yīng)氣體，用一般的磁控濺射方法就可以制備SiO2薄膜，沉積速率視靶材大小和濺射功率的大小而定，但只制備300nm厚的SiO2薄膜，不會(huì)要太長(zhǎng)時(shí)間。我曾經(jīng)用該方法制備過(guò)微米級(jí)的SiO2薄膜，也就是幾個(gè)小時(shí)而已。 |
2樓2012-08-24 19:56:13
bazhuayuyu
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5樓2012-09-02 01:25:02
carlos486
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6樓2012-11-05 11:21:05
infobright 
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7樓2012-12-25 13:58:39
xpengpengx
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8樓2012-12-25 16:07:16
dwysd
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9樓2012-12-26 12:04:56
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10樓2012-12-26 16:09:36
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