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shucaijing銅蟲 (正式寫手)
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[求助]
如何在硅片上長300nm的Si02層
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如何在硅片上長300nm的Si02層？我們組有真空鍍膜機(jī) 但需要很高的溫度 且時間長 我用其他的什么方法可以得到那？ |
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4樓2012-09-01 14:37:08
dwysd
木蟲 (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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shucaijing: 金幣+3, ★★★很有幫助, 謝謝你的建議 2012-08-29 09:07:48
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| 一般而言，如果用單質(zhì)Si作為濺射靶材，Ar/O2作為濺射氣體/反應(yīng)氣體，用一般的磁控濺射方法就可以制備SiO2薄膜，沉積速率視靶材大小和濺射功率的大小而定，但只制備300nm厚的SiO2薄膜，不會要太長時間。我曾經(jīng)用該方法制備過微米級的SiO2薄膜，也就是幾個小時而已。 |
2樓2012-08-24 19:56:13
bazhuayuyu
木蟲 (著名寫手)
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3樓2012-08-25 17:14:08
mosleo 
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5樓2012-09-02 01:25:02
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