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FLYFWY木蟲 (小有名氣)
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[求助]
請教如何將納米多層膜從基底上脫離 已有1人參與
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最近研究納米多層膜，需要將濺射得到的金屬多層膜（幾個μ）從SiC基底上脫離，粘到另一個模具上。 目的是利用膜與SiC基底接觸的那一面（即下表面）的低粗糙度。 遇到一個問題：用環(huán)氧膠將膜上表面與模具粘在一起，然后扯開，使膜脫離 SiC基底，最后得到的膜的面型很不好，估計和膠不均勻以及脫膜過程有關(guān)。 請問有沒有好的方法脫膜？ 謝謝大家！O(∩_∩)O~ |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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整面的剝離往往是非常困難的。一般都是用柔性材料，把金屬膜沾上去，從一邊揭開，讓金屬膜和SiC襯底緩慢剝離。然后再把金屬膜從柔性襯底轉(zhuǎn)移至你的模具表面。這里面有幾個關(guān)鍵 1. 金屬膜和柔性材料的粘貼，要無氣泡，均勻。有條件上真空貼膜機，沒條件用輥子來實現(xiàn)。 2. 柔性材料的緩慢揭開，這是手藝活，柔性材料面積要遠大于SiC襯底�？梢杂脷怏w不斷吹掃揭開的縫隙，這樣可以減少對金屬膜的傷害。 3. 柔性材料和金屬膜分離。這取決于柔性材料的性質(zhì)。這個柔性材料可以是壓敏的紫外脫落薄膜，也可以是熱發(fā)泡薄膜。前者用紫外光照就可以脫落，后者加熱即可脫落。你可以咨詢一下蘇州銳材半導(dǎo)體找這些材料。這樣可以保證你的金屬膜可以無損的脫離。 4. 模具的涂敷。在模具表面涂敷足夠均勻的膠，要看模具的形狀似什么樣的。可以用旋轉(zhuǎn)勻膠，可以用噴涂，可以用輥子，都可以。 5. 金屬膜的貼附。因為存在膠的不均勻，所以應(yīng)當在真空下，用非常光滑的表面去壓金屬膜，使得金屬膜下的膠盡量的平整。這個我們叫熱壓鍵合�？梢詤⒖继K州美圖半導(dǎo)體的鍵合設(shè)備。 還有方法是把濺射好的SiC和模具通過熱壓鍵合直接鍵合在一起。然后把SiC充分減薄至um水平，然后用激光將SiC和金屬膜分離。 事實上，上面這個方法更適合硅材料，因為硅片同樣具有很好的表面，roughness也可以做到非常低，這樣在減薄之后，就可以直接用腐蝕的方法把Si去掉，良率更高，成本更低。 |
2樓2014-09-22 16:17:01
FLYFWY
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3樓2014-09-23 09:54:17
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4樓2016-01-17 21:32:49
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