 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 926 | 回復(fù): 3 | |||||
FLYFWY木蟲 (小有名氣)
|
[求助]
請教如何將納米多層膜從基底上脫離 已有1人參與
|
|
最近研究納米多層膜，需要將濺射得到的金屬多層膜（幾個(gè)μ）從SiC基底上脫離，粘到另一個(gè)模具上。 目的是利用膜與SiC基底接觸的那一面（即下表面）的低粗糙度。 遇到一個(gè)問題：用環(huán)氧膠將膜上表面與模具粘在一起，然后扯開，使膜脫離 SiC基底，最后得到的膜的面型很不好，估計(jì)和膠不均勻以及脫膜過程有關(guān)。 請問有沒有好的方法脫膜？ 謝謝大家！O(∩_∩)O~ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
無機(jī)化學(xué)論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有243人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 用什么方法把納米金屬薄膜從PI基體上脫離
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 【請教】表面氨基的碳點(diǎn)如何能修飾上巰基
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 用云母片做基底做AFM，如何區(qū)分片狀樣品和云母碎片？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 怎么使得疏水性基底變得親水？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 如何測量基底上薄膜的透射譜和吸收譜？
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 如何給玻璃片基底的做親水性性處理？
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 在銅基底上電鍍納米鎳磷非晶后該如何分離基底和薄膜
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 相分離經(jīng)典著作——多相聚合物基材料：納米和微米尺度下相結(jié)構(gòu)圖冊（英文版）
已經(jīng)有476人回復(fù)
- 請問怎么去除基底上的銀納米顆粒
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 用掃描電鏡看薄膜截面時(shí)的基底影響問題求助
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 石墨烯分散液如何轉(zhuǎn)移到玻璃基底上
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 在基底上生長TiO2納米管
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 表面增強(qiáng)拉曼光譜的納米基底制備 方法及儀器
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 什么樣的納米棒可以形成陣列，跟基底關(guān)系大嗎？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 如何將AAO模板固定在導(dǎo)電基底上
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 【請教】膠體納米粒子的在氨基表面的靜電吸附問題
已經(jīng)有22人回復(fù)
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
|
整面的剝離往往是非常困難的。一般都是用柔性材料，把金屬膜沾上去，從一邊揭開，讓金屬膜和SiC襯底緩慢剝離。然后再把金屬膜從柔性襯底轉(zhuǎn)移至你的模具表面。這里面有幾個(gè)關(guān)鍵 1. 金屬膜和柔性材料的粘貼，要無氣泡，均勻。有條件上真空貼膜機(jī)，沒條件用輥?zhàn)觼韺?shí)現(xiàn)。 2. 柔性材料的緩慢揭開，這是手藝活，柔性材料面積要遠(yuǎn)大于SiC襯底�？梢杂脷怏w不斷吹掃揭開的縫隙，這樣可以減少對金屬膜的傷害。 3. 柔性材料和金屬膜分離。這取決于柔性材料的性質(zhì)。這個(gè)柔性材料可以是壓敏的紫外脫落薄膜，也可以是熱發(fā)泡薄膜。前者用紫外光照就可以脫落，后者加熱即可脫落。你可以咨詢一下蘇州銳材半導(dǎo)體找這些材料。這樣可以保證你的金屬膜可以無損的脫離。 4. 模具的涂敷。在模具表面涂敷足夠均勻的膠，要看模具的形狀似什么樣的�？梢杂眯D(zhuǎn)勻膠，可以用噴涂，可以用輥?zhàn)�，都可以�?br /> 5. 金屬膜的貼附。因?yàn)榇嬖谀z的不均勻，所以應(yīng)當(dāng)在真空下，用非常光滑的表面去壓金屬膜，使得金屬膜下的膠盡量的平整。這個(gè)我們叫熱壓鍵合�？梢詤⒖继K州美圖半導(dǎo)體的鍵合設(shè)備。 還有方法是把濺射好的SiC和模具通過熱壓鍵合直接鍵合在一起。然后把SiC充分減薄至um水平，然后用激光將SiC和金屬膜分離。 事實(shí)上，上面這個(gè)方法更適合硅材料，因?yàn)楣杵瑯泳哂泻芎玫谋砻�，roughness也可以做到非常低，這樣在減薄之后，就可以直接用腐蝕的方法把Si去掉，良率更高，成本更低。 |
2樓2014-09-22 16:17:01
FLYFWY
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 3611.8
- 紅花: 1
- 帖子: 160
- 在線: 113小時(shí)
- 蟲號: 747879
- 注冊: 2009-04-13
- 專業(yè): 光學(xué)信息獲取與處理
3樓2014-09-23 09:54:17
yinhuoxuan
鐵蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 9057.9
- 帖子: 885
- 在線: 202.8小時(shí)
- 蟲號: 2483545
- 注冊: 2013-05-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
4樓2016-01-17 21:32:49
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 FLYFWY 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | 曼殊2266 2026-03-18 | 4/200 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿吉林大學(xué)材料學(xué)碩321求調(diào)劑 +9 | Ymlll 2026-03-18 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +9 | 冷笙123 2026-03-17 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 296求調(diào)劑 +3 | www_q 2026-03-18 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 生物學(xué)調(diào)劑招人�。�！ +3 | 山海天嵐 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 346求調(diào)劑[0856] +3 | WayneLim327 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿中海洋材料工程專碩330分求調(diào)劑 +7 | 小材化本科 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料專碩306英一數(shù)二 +10 | z1z2z3879 2026-03-16 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 331求調(diào)劑（0703有機(jī)化學(xué) +7 | ZY-05 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 312求調(diào)劑 +8 | 陌宸希 2026-03-16 | 9/450 |
|
|
|
[考博] 26博士申請 +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 275求調(diào)劑 +4 | 太陽花天天開心 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 小賈同學(xué)123 2026-03-15 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 東南大學(xué)364求調(diào)劑 +5 | JasonYuiui 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | ahbd 2026-03-14 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 070303 總分349求調(diào)劑 +3 | LJY9966 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑 +3 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +3 | mlpqaz03 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856專碩279求調(diào)劑 +5 | 加油加油！? 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 080500，材料學(xué)碩302分求調(diào)劑學(xué)校 +4 | 初識可樂 2026-03-14 | 5/250 |
|