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hello_Jzz

銀蟲 (小有名氣)

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[求助] 關(guān)于在硅片上開(kāi)一個(gè)窗口的問(wèn)題已有2人參與

各路的師兄師姐師弟師妹們：
最近我正在嘗試如何在500微米Si+300nm氧化硅的片子上開(kāi)一個(gè)窗口的問(wèn)題，這個(gè)窗口要600微米見(jiàn)方，并且只去掉硅而保留氧化硅。這個(gè)氧化硅層稍后需要用來(lái)做加工。在網(wǎng)上看了一些方法，自己也嘗試了一些，但是都不太順利，想向大家請(qǐng)教一下，有沒(méi)有這方面比較成熟的工藝。

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1樓 2014-10-11 10:39:41

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papaverme

鐵桿木蟲 (正式寫手)

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

你說(shuō)的尺寸，如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下，就是典型的TEM用氮化硅支持膜了，大批量的工業(yè)產(chǎn)品，很容易買到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅，也可以找他們訂做吧，大概比你自己折騰要便宜。

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2樓2014-10-11 13:38:40

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hello_Jzz

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引用回帖:

2樓: Originally posted by papaverme at 2014-10-11 13:38:40
你說(shuō)的尺寸，如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下，就是典型的TEM用氮化硅支持膜了，大批量的工業(yè)產(chǎn)品，很容易買到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅，也可以找他們訂做吧，大概比你自己折騰要便宜。

哦，是嘛，你有聯(lián)系方式嗎？我去咨詢一下~

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3樓2014-10-11 15:54:17

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引用回帖:

哪家公司能做這個(gè)呀？求不吝賜教

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4樓2014-10-13 10:13:55

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lee0803

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

可以把硅那面先減薄，再刻蝕。在減薄和刻蝕過(guò)程中保護(hù)好氧化硅那面就好。

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5樓2014-10-13 10:34:20

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