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hello_Jzz銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于在硅片上開一個窗口的問題 已有2人參與
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各路的師兄師姐師弟師妹們： 最近我正在嘗試如何在500微米Si+300nm氧化硅的片子上開一個窗口的問題，這個窗口要600微米見方，并且只去掉硅而保留氧化硅。這個氧化硅層稍后需要用來做加工。在網(wǎng)上看了一些方法，自己也嘗試了一些，但是都不太順利，想向大家請教一下，有沒有這方面比較成熟的工藝。 |
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5樓2014-10-13 10:34:20
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