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[求助]
XPS和AES在做薄膜成分分析時的精確度問題 已有2人參與
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| 有兩個樣品A和B，同時做了XPS測試和AES測試來分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法測試出來的結果顯示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法測出來的xA(1.35)>xB(1.23)，這兩個結果哪個可信呢？我沒有金幣了…………請大家指點指點！多謝！ |
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感謝參與，應助指數 +1
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2樓2014-11-14 17:52:00
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3樓2014-11-14 17:56:50
598878157
版主 (文學泰斗)
rky
- 應助: 369 (碩士)
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- 紅花: 155
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- 專業(yè): 固體無機化學
- 管轄: 外語學習
4樓2014-11-16 09:43:19
5樓2014-11-17 08:41:53
6樓2014-11-17 08:44:23
7樓2014-11-17 08:47:12
★ ★ ★
Y山己幾: 金幣+3, ★有幫助, 我說的定量就是相對含量。我的提問是”哪個精確度更高一些？“您的回答是”這兩個都不行，根本不能這么測“。我了解的情況是某國際知名半導體設備公司就是這么測的。 2014-11-17 15:36:11
Y山己幾: 金幣+3, ★有幫助, 我說的定量就是相對含量。我的提問是”哪個精確度更高一些？“您的回答是”這兩個都不行，根本不能這么測“。我了解的情況是某國際知名半導體設備公司就是這么測的。 2014-11-17 15:36:11
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8樓2014-11-17 09:24:16
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