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[求助]
XPS和AES在做薄膜成分分析時的精確度問題 已有2人參與
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| 有兩個樣品A和B，同時做了XPS測試和AES測試來分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法測試出來的結果顯示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法測出來的xA(1.35)>xB(1.23)，這兩個結果哪個可信呢？我沒有金幣了…………請大家指點指點！多謝！ |
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 薄膜器件的制備與表征 |
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598878157
版主 (文學泰斗)
rky
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4樓2014-11-16 09:43:19
感謝參與，應助指數(shù) +1
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2樓2014-11-14 17:52:00
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3樓2014-11-14 17:56:50
5樓2014-11-17 08:41:53
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