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Y山己幾新蟲 (初入文壇)
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[求助]
XPS和AES在做薄膜成分分析時(shí)的精確度問題 已有2人參與
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| 有兩個(gè)樣品A和B，同時(shí)做了XPS測(cè)試和AES測(cè)試來分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法測(cè)試出來的結(jié)果顯示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法測(cè)出來的xA(1.35)>xB(1.23)，這兩個(gè)結(jié)果哪個(gè)可信呢？我沒有金幣了…………請(qǐng)大家指點(diǎn)指點(diǎn)！多謝！ |
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 薄膜器件的制備與表征 |
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3樓2014-11-14 17:56:50
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2014-11-14 17:52:00
598878157
版主 (文學(xué)泰斗)
rky
- 應(yīng)助: 369 (碩士)
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4樓2014-11-16 09:43:19
Y山己幾
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 5.5
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- 專業(yè): 其他無機(jī)非金屬材料
5樓2014-11-17 08:41:53
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