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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 聚酰亞胺薄膜去除方法
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czz_iecas金蟲 (初入文壇)
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[求助]
聚酰亞胺薄膜去除方法 已有3人參與
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小蟲做MEMS工藝的，其中一步需要旋涂聚酰亞胺薄膜保護器件，最后需要去除。一直使用的是干法RIE打氧去除，但是時間很長，所以想問一下有沒有做過這方面實驗的蟲蟲，能提供一些去除思路，未亞胺化和亞胺化之后的去除方法都可以，干法和濕法均可，希望去除效率高一些的。新人發(fā)帖，希望友好的蟲蟲們給力回復啊～十分感謝，奉上金幣！ [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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czz_iecas
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yswyx 
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2樓2014-12-25 03:46:36
czz_iecas
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石銀東
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