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czz_iecas金蟲 (初入文壇)
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聚酰亞胺薄膜去除方法 已有3人參與
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小蟲做MEMS工藝的,其中一步需要旋涂聚酰亞胺薄膜保護器件,最后需要去除。一直使用的是干法RIE打氧去除,但是時間很長,所以想問一下有沒有做過這方面實驗的蟲蟲,能提供一些去除思路,未亞胺化和亞胺化之后的去除方法都可以,干法和濕法均可,希望去除效率高一些的。新人發(fā)帖,希望友好的蟲蟲們給力回復(fù)啊~十分感謝,奉上金幣! [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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