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不銹鋼基底上鍍氮化鈦膜,為什么XRD測試完全不看到膜的特征峰? 已有2人參與
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首先排除了鍍膜手法和測試的問題, 實驗條件為直接用氮化鈦靶材濺射,射頻,臺階儀測厚度為200nm左右,在XRD中只看到不銹鋼基底的峰,而且非常明顯,完全看不懂氮化鈦薄膜的峰。 請問: 難道是結(jié)晶性很差所以沒有膜的特征峰是嗎?是什么原因造成的呢? |
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