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[求助]
不銹鋼基底上鍍氮化鈦膜，為什么XRD測(cè)試完全不看到膜的特征峰？ 已有2人參與
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首先排除了鍍膜手法和測(cè)試的問(wèn)題， 實(shí)驗(yàn)條件為直接用氮化鈦靶材濺射，射頻，臺(tái)階儀測(cè)厚度為200nm左右，在XRD中只看到不銹鋼基底的峰，而且非常明顯，完全看不懂氮化鈦薄膜的峰。 請(qǐng)問(wèn)： 難道是結(jié)晶性很差所以沒(méi)有膜的特征峰是嗎？是什么原因造成的呢？ |
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已經(jīng)有5人回復(fù)
xsz2013
9樓2015-01-02 20:57:33
2樓2015-01-01 19:10:55
穿越千年
版主 (著名寫(xiě)手)
寂寞讀書(shū)的小和尚
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- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體材料
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3樓2015-01-02 08:27:13
4樓2015-01-02 12:41:20
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