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風(fēng)雨草金蟲 (小有名氣)
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固定床反應(yīng)器流量控制問題 已有1人參與
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質(zhì)量流量控制器是七星D07-11C，反應(yīng)器后的背壓閥是熊川的�，F(xiàn)在進(jìn)行固定床調(diào)試時出問題了。MFC設(shè)置為最大量程300mL/min，通氣后流量顯示在300-301之間波動，倒是還算穩(wěn)定，調(diào)節(jié)流量計前面的穩(wěn)壓閥和反應(yīng)器后面的背壓閥使得流量計前面壓力為4.5MPa左右，流量計后面壓力為4.0MPa左右，流量計前后壓差0.5MPa左右，調(diào)好后整個固定床氣路通暢，出口處有氣體流出，我在出口處接了一個水瓶來看出氣情況，發(fā)現(xiàn)出口出氣越來越少，大概一個小時就不出氣了，流量計后面壓力表示數(shù)有了稍微升高到4.2MPa左右。不出氣后，我稍微轉(zhuǎn)動一下背壓閥，就又開始出氣了！然后就又會開始慢慢出氣量減少，直到不出氣。我實(shí)在不知道是那塊出問題了！我懷疑可能是以下問題： 1，管路漏氣，我之前檢漏過，不漏氣，就算漏，也可能是微漏！ 2，質(zhì)量流量控制器出問題了，因為我最近就是在調(diào)質(zhì)量流量控制器，發(fā)現(xiàn)在高壓下（1MPa）改變流量的設(shè)定值，比如設(shè)定為300，240,180,120mL/min等流量時，反應(yīng)器出口流量沒變化，而常壓下還算有變化。（質(zhì)量流量控制器參數(shù)：耐壓10MPa，量程300mL/min） 3,背壓閥可能出問題了。但是這背壓閥是我兩星期前剛換的。（不是新的，是以前壞了返廠修過的） 所以請各位大牛們幫我分析分析到底是哪兒出問題了！在此謝過了！ 另補(bǔ)充一點(diǎn)：就是按上面說的不出氣之后，我調(diào)節(jié)背壓閥有時調(diào)的時候會突然出口出氣很劇烈（從出口接的水瓶判斷的），這時候流量顯示器的顯示讀數(shù)會很快下降到15左右（原來是300）.然后將背壓閥關(guān)死點(diǎn)出口氣流變小，流量顯示器讀數(shù)會慢慢升高至300. |
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腫么沒有人幫忙回復(fù)呀！自己頂一下！ 
2樓2015-01-13 12:32:15
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