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風(fēng)雨草金蟲 (小有名氣)
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[求助]
固定床反應(yīng)器流量控制問題 已有1人參與
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質(zhì)量流量控制器是七星D07-11C，反應(yīng)器后的背壓閥是熊川的�，F(xiàn)在進(jìn)行固定床調(diào)試時(shí)出問題了。MFC設(shè)置為最大量程300mL/min，通氣后流量顯示在300-301之間波動(dòng)，倒是還算穩(wěn)定，調(diào)節(jié)流量計(jì)前面的穩(wěn)壓閥和反應(yīng)器后面的背壓閥使得流量計(jì)前面壓力為4.5MPa左右，流量計(jì)后面壓力為4.0MPa左右，流量計(jì)前后壓差0.5MPa左右，調(diào)好后整個(gè)固定床氣路通暢，出口處有氣體流出，我在出口處接了一個(gè)水瓶來看出氣情況，發(fā)現(xiàn)出口出氣越來越少，大概一個(gè)小時(shí)就不出氣了，流量計(jì)后面壓力表示數(shù)有了稍微升高到4.2MPa左右。不出氣后，我稍微轉(zhuǎn)動(dòng)一下背壓閥，就又開始出氣了！然后就又會(huì)開始慢慢出氣量減少，直到不出氣。我實(shí)在不知道是那塊出問題了！我懷疑可能是以下問題： 1，管路漏氣，我之前檢漏過，不漏氣，就算漏，也可能是微漏！ 2，質(zhì)量流量控制器出問題了，因?yàn)槲易罱褪窃谡{(diào)質(zhì)量流量控制器，發(fā)現(xiàn)在高壓下（1MPa）改變流量的設(shè)定值，比如設(shè)定為300，240,180,120mL/min等流量時(shí)，反應(yīng)器出口流量沒變化，而常壓下還算有變化。（質(zhì)量流量控制器參數(shù)：耐壓10MPa，量程300mL/min） 3,背壓閥可能出問題了。但是這背壓閥是我兩星期前剛換的。（不是新的，是以前壞了返廠修過的） 所以請各位大牛們幫我分析分析到底是哪兒出問題了！在此謝過了！ 另補(bǔ)充一點(diǎn)：就是按上面說的不出氣之后，我調(diào)節(jié)背壓閥有時(shí)調(diào)的時(shí)候會(huì)突然出口出氣很劇烈（從出口接的水瓶判斷的），這時(shí)候流量顯示器的顯示讀數(shù)會(huì)很快下降到15左右（原來是300）.然后將背壓閥關(guān)死點(diǎn)出口氣流變小，流量顯示器讀數(shù)會(huì)慢慢升高至300. |
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| 大概一個(gè)小時(shí)就不出氣了，此時(shí)壓力是多少？如果低于4.0MPa的話是不會(huì)排氣的，背壓閥控制的是閥前的壓力，你把流量計(jì)前面的穩(wěn)壓閥調(diào)大一點(diǎn)，使得流量計(jì)前后壓差增大一些試試，背壓閥控制系統(tǒng)壓力確實(shí)很難控制的 |
4樓2015-01-13 16:59:29
風(fēng)雨草
金蟲 (小有名氣)
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