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風雨草金蟲 (小有名氣)
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固定床反應器流量控制問題 已有1人參與
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質(zhì)量流量控制器是七星D07-11C,反應器后的背壓閥是熊川的,F(xiàn)在進行固定床調(diào)試時出問題了。MFC設置為最大量程300mL/min,通氣后流量顯示在300-301之間波動,倒是還算穩(wěn)定,調(diào)節(jié)流量計前面的穩(wěn)壓閥和反應器后面的背壓閥使得流量計前面壓力為4.5MPa左右,流量計后面壓力為4.0MPa左右,流量計前后壓差0.5MPa左右,調(diào)好后整個固定床氣路通暢,出口處有氣體流出,我在出口處接了一個水瓶來看出氣情況,發(fā)現(xiàn)出口出氣越來越少,大概一個小時就不出氣了,流量計后面壓力表示數(shù)有了稍微升高到4.2MPa左右。不出氣后,我稍微轉(zhuǎn)動一下背壓閥,就又開始出氣了!然后就又會開始慢慢出氣量減少,直到不出氣。我實在不知道是那塊出問題了!我懷疑可能是以下問題: 1,管路漏氣,我之前檢漏過,不漏氣,就算漏,也可能是微漏! 2,質(zhì)量流量控制器出問題了,因為我最近就是在調(diào)質(zhì)量流量控制器,發(fā)現(xiàn)在高壓下(1MPa)改變流量的設定值,比如設定為300,240,180,120mL/min等流量時,反應器出口流量沒變化,而常壓下還算有變化。(質(zhì)量流量控制器參數(shù):耐壓10MPa,量程300mL/min) 3,背壓閥可能出問題了。但是這背壓閥是我兩星期前剛換的。(不是新的,是以前壞了返廠修過的) 所以請各位大牛們幫我分析分析到底是哪兒出問題了!在此謝過了! 另補充一點:就是按上面說的不出氣之后,我調(diào)節(jié)背壓閥有時調(diào)的時候會突然出口出氣很劇烈(從出口接的水瓶判斷的),這時候流量顯示器的顯示讀數(shù)會很快下降到15左右(原來是300).然后將背壓閥關死點出口氣流變小,流量顯示器讀數(shù)會慢慢升高至300. |
金蟲 (小有名氣)
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