 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1440 | 回復(fù): 4 | |||
公子長風(fēng)銅蟲 (初入文壇)
|
[求助]
lift-off 超聲不管用 已有3人參與
|
|
各位大神求幫忙，我用lift-off工藝做金的吸收器，膠200納米PMMA，鍍了50納米金，電子束曝光后用丙酮跑了兩天，然后超聲，除了pattern處其他地方膠都除掉了，但是pattern的地方不論膠或者曝光刻掉膠的地方，超聲都不起作用。鍍金用了濺射，金的厚度后來測過不是很準(zhǔn)，可能有將近100納米。求問超不掉pattern處的原因。 附了SEM的圖片，只有邊邊角角能除掉一點，求大神門指點。 |
回復(fù)此樓» 本帖附件資源列表
-
歡迎監(jiān)督和反饋：小木蟲僅提供交流平臺，不對該內(nèi)容負(fù)責(zé)。
本內(nèi)容由用戶自主發(fā)布，如果其內(nèi)容涉及到知識產(chǎn)權(quán)問題，其責(zé)任在于用戶本人，如對版權(quán)有異議，請聯(lián)系郵箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 20150120.zip
2015-01-22 21:01:27, 8.08 M
» 猜你喜歡
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有55人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團(tuán)隊招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有8人回復(fù)
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- MEMS工藝中做lift off 結(jié)果不理想
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 詢問大家做lift-off都用什么膠？
已經(jīng)有15人回復(fù)
metaliium
銀蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 69 (初中生)
- 金幣: 2368.1
- 散金: 25
- 紅花: 12
- 帖子: 439
- 在線: 118.4小時
- 蟲號: 1916175
- 注冊: 2012-07-30
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
公子長風(fēng): 金幣+10 2015-01-27 12:54:27
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
公子長風(fēng): 金幣+10 2015-01-27 12:54:27
|
濺射形成連續(xù)的膜，必須用大力把它撕開，而且即使撕開了邊緣也肯定有破壞、小的結(jié)構(gòu)可能會整個脫落導(dǎo)致失敗，所以濺射不太適合做lift off。。。要用電子束蒸發(fā)，邊界處連接弱，丙酮泡掉pmma以后被架空的金很容易就掉了。 如果有100nm厚，結(jié)構(gòu)尺寸又小的話，很有可能弄不掉了。。�？梢試L試用高壓氣體帶著丙酮噴上去，但通常不會比超聲力量更大。。。100nm也太厚了吧，好幾百塊錢了。。。濺射的話二十納米金lift off就費(fèi)力了。。。= = 用電子束蒸發(fā)重做吧。老實說100nm那么厚的話即使用電子束蒸發(fā)這個lift off也不會容易。。。實在沒有電子束蒸發(fā)的話少鍍一點，最起碼控制在40nm以內(nèi)�；蛟S嘗試厚一點的膠會有幫助（個人想像，沒試過）。。。 |
2樓2015-01-23 01:16:28
xiaoyueriyue
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 964.4
- 散金: 1051
- 紅花: 6
- 帖子: 381
- 在線: 128小時
- 蟲號: 1966386
- 注冊: 2012-08-31
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機(jī)械系統(tǒng)
3樓2015-01-24 08:12:21
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
4樓2015-01-29 17:09:30
dearmaximus
金蟲 (正式寫手)
迷途小書童/二手科學(xué)家
- 應(yīng)助: 8 (幼兒園)
- 金幣: 2514.8
- 散金: 30
- 紅花: 5
- 帖子: 665
- 在線: 341.4小時
- 蟲號: 355083
- 注冊: 2007-04-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
5樓2018-01-03 21:45:11
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 公子長風(fēng) 的主題更新
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿海大，0703化學(xué)學(xué)碩304分，有大創(chuàng)項目，四級已過 +6 | 幸運(yùn)哩哩 2026-03-22 | 10/500 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 一志愿上海交大生物與醫(yī)藥專碩324分，求調(diào)劑 +3 | jiajunX 2026-03-22 | 3/150 |
|
|
[考研] 319求調(diào)劑 +4 | 小力氣珂珂 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 298求調(diào)劑一志愿211 +3 | 上岸6666@ 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 招收博士1-2人 +3 | QGZDSYS 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +10 | Faune 2026-03-21 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 280求調(diào)劑 +11 | 咕嚕曉曉 2026-03-18 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩 348分求調(diào)劑 +3 | 冬辭. 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | Mqqqqqq 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械專碩299求調(diào)劑至材料 +3 | kkcoco25 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿 西北大學(xué) ，070300化學(xué)學(xué)碩，總分287，雙非一本，求調(diào)劑。 +3 | 晨昏線與星海 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 南京大學(xué)化學(xué)376求調(diào)劑 +3 | hisfailed 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +7 | 司空. 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[論文投稿]
申請回稿延期一個月，編輯同意了。但系統(tǒng)上的時間沒變，給編輯又寫郵件了，沒回復(fù)
 10+3
|
wangf9518 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿中國海洋大學(xué)，生物學(xué)，301分，求調(diào)劑 +5 | 1孫悟空 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工調(diào)劑 324分 +10 | llllkkkhh 2026-03-18 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩調(diào)劑 +5 | 204818@lcx 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0854可跨調(diào)劑，一作一項核心論文五項專利，省、國級證書40+數(shù)一英一287 +8 | 小李0854 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考博] 26博士申請 +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿] 有沒有大佬發(fā)小論文能帶我個二作 +3 | 增銳漏人 2026-03-17 | 4/200 |
|