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公子長風(fēng)銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
lift-off 超聲不管用 已有3人參與
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各位大神求幫忙，我用lift-off工藝做金的吸收器，膠200納米PMMA，鍍了50納米金，電子束曝光后用丙酮跑了兩天，然后超聲，除了pattern處其他地方膠都除掉了，但是pattern的地方不論膠或者曝光刻掉膠的地方，超聲都不起作用。鍍金用了濺射，金的厚度后來測過不是很準(zhǔn)，可能有將近100納米。求問超不掉pattern處的原因。 附了SEM的圖片，只有邊邊角角能除掉一點(diǎn)，求大神門指點(diǎn)。 |
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2015-01-22 21:01:27, 8.08 M
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yswyx 
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4樓2015-01-29 17:09:30
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【答案】應(yīng)助回帖
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濺射形成連續(xù)的膜，必須用大力把它撕開，而且即使撕開了邊緣也肯定有破壞、小的結(jié)構(gòu)可能會整個(gè)脫落導(dǎo)致失敗，所以濺射不太適合做lift off。。。要用電子束蒸發(fā)，邊界處連接弱，丙酮泡掉pmma以后被架空的金很容易就掉了。 如果有100nm厚，結(jié)構(gòu)尺寸又小的話，很有可能弄不掉了。。�？梢試L試用高壓氣體帶著丙酮噴上去，但通常不會比超聲力量更大。。。100nm也太厚了吧，好幾百塊錢了。。。濺射的話二十納米金lift off就費(fèi)力了。。。= = 用電子束蒸發(fā)重做吧。老實(shí)說100nm那么厚的話即使用電子束蒸發(fā)這個(gè)lift off也不會容易。。。實(shí)在沒有電子束蒸發(fā)的話少鍍一點(diǎn)，最起碼控制在40nm以內(nèi)�；蛟S嘗試厚一點(diǎn)的膠會有幫助（個(gè)人想像，沒試過）。。。 |
2樓2015-01-23 01:16:28
dearmaximus
金蟲 (正式寫手)
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5樓2018-01-03 21:45:11
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