秦羽重樓

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[求助] 如何測(cè)量金屬氧化物半導(dǎo)體IGZO薄膜中H含量？已有3人參與

在玻璃襯底上磁控濺射生長(zhǎng)了一層金屬氧化物IGZO薄膜（靶材IGZO，通Ar/O2），向各位請(qǐng)教用什么方法測(cè)量薄膜中氫含量?

本人初到論壇，還望各位前輩賜教。萬(wàn)謝！

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1樓 2015-03-20 10:32:32

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蔡超

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秦羽重樓: 金幣+5, ★★★很有幫助, 謝謝你啊。 2015-03-20 15:30:17

可以考慮用一下電子顯微分析，比如EDS等。

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2樓2015-03-20 13:47:51

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2樓: Originally posted by 蔡超 at 2015-03-20 13:47:51
可以考慮用一下電子顯微分析，比如EDS等。

首先感謝您的回復(fù)，我也查了下，有人說(shuō)EDS對(duì)于原子量小的輕元素很難測(cè)出來(lái)，并且準(zhǔn)確性不高，XPS也不行，可以用核磁共振NMR來(lái)測(cè)。

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3樓2015-03-20 15:30:21

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2樓: Originally posted by 蔡超 at 2015-03-20 13:47:51
可以考慮用一下電子顯微分析，比如EDS等。

開(kāi)玩笑啊。。H原子一點(diǎn)信號(hào)都沒(méi)有的，eds的window都是Be的,所以Be以前的元素沒(méi)可能檢測(cè)的了

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4樓2015-03-20 19:33:01

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3樓: Originally posted by 秦羽重樓 at 2015-03-20 15:30:21
首先感謝您的回復(fù)，我也查了下，有人說(shuō)EDS對(duì)于原子量小的輕元素很難測(cè)出來(lái)，并且準(zhǔn)確性不高，XPS也不行，可以用核磁共振NMR來(lái)測(cè)。...

IGZO不是個(gè)金屬氧化物么，為啥要測(cè)H啊，濺射薄膜的話NMR不好測(cè)嗯，可以考慮SIMS不過(guò)也不太能定量

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5樓2015-03-20 19:34:55

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考慮ICP看看，具體技術(shù)問(wèn)題問(wèn)問(wèn)測(cè)試?yán)蠋?

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6樓2015-03-22 20:36:48

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4樓: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-20 19:33:01
開(kāi)玩笑啊。。H原子一點(diǎn)信號(hào)都沒(méi)有的，eds的window都是Be的,所以Be以前的元素沒(méi)可能檢測(cè)的了...

那請(qǐng)問(wèn)您，對(duì)于H原子這種輕原子，用什么方法能相對(duì)準(zhǔn)確的測(cè)出其含量呢？

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7樓2015-03-23 09:47:30

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5樓: Originally posted by gxytju2008 at 2015-03-20 19:34:55
IGZO不是個(gè)金屬氧化物么，為啥要測(cè)H啊，濺射薄膜的話NMR不好測(cè)嗯，可以考慮SIMS不過(guò)也不太能定量...

理論上磁控濺射生長(zhǎng)的IGZO薄膜是沒(méi)有H原子的，但玻璃襯底上應(yīng)該有水分子，在真空腔里抽真空后可能還殘有水分子，濺射過(guò)程中H原子可能嵌在薄膜里，我也只是猜的，至于含量我想肯定很小，能不能測(cè)出來(lái)還是個(gè)問(wèn)題，精度高不高也是個(gè)問(wèn)題。感謝您的回復(fù)！

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8樓2015-03-23 10:04:46

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引用回帖:

8樓: Originally posted by 秦羽重樓 at 2015-03-23 10:04:46
理論上磁控濺射生長(zhǎng)的IGZO薄膜是沒(méi)有H原子的，但玻璃襯底上應(yīng)該有水分子，在真空腔里抽真空后可能還殘有水分子，濺射過(guò)程中H原子可能嵌在薄膜里，我也只是猜的，至于含量我想肯定很小，能不能測(cè)出來(lái)還是個(gè)問(wèn)題，精 ...

個(gè)人覺(jué)得不是很可能，而且你只要從高真空取出來(lái)表面就會(huì)吸附空氣中水的，測(cè)得出來(lái)測(cè)不出來(lái)都可以理解，測(cè)氫基本就是質(zhì)譜一類的，而且最好做原位檢測(cè)

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9樓2015-03-23 10:10:28

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6樓: Originally posted by yuan999 at 2015-03-22 20:36:48
考慮ICP看看，具體技術(shù)問(wèn)題問(wèn)問(wèn)測(cè)試?yán)蠋?

謝謝您的回復(fù)，ICP測(cè)量范圍不是B~U嗎？我越感覺(jué)我現(xiàn)在要測(cè)那微量的H意義不大了。

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10樓2015-03-23 10:27:49

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