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關(guān)于CVD在藍(lán)寶石上生長(zhǎng)石墨烯的工藝 已有1人參與
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各位蟲(chóng)友，第一次發(fā)帖，請(qǐng)教大家問(wèn)題： 最近在用CVD在藍(lán)寶石上生長(zhǎng)石墨烯，參考了一些文獻(xiàn)，自己是在1040℃，H2流量50sccm，CH4流量25sccm，生長(zhǎng)2h，結(jié)果啥都沒(méi)有。有以下幾個(gè)問(wèn)題： 1.很少有文章研究氣壓與生長(zhǎng)的關(guān)系，據(jù)我了解不同的管式爐、不同的真空泵會(huì)導(dǎo)致流量相同而氣壓不同，不知道氣壓是對(duì)生長(zhǎng)關(guān)系不大呢還是研究它沒(méi)有意義？ 2.有沒(méi)有做過(guò)類(lèi)似工作的蟲(chóng)友提提建議里面有哪些要注意的工藝？ 3.自己做出的試樣不太方便直接拿去測(cè)拉曼或者掃描或者原子力，有沒(méi)有簡(jiǎn)單易行的方法可以判斷到底有沒(méi)有獲得石墨烯？ |
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7樓2015-04-01 13:41:30
3樓2015-03-31 10:41:55
spiderman504
金蟲(chóng) (小有名氣)
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- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
4樓2015-03-31 10:55:44
5樓2015-03-31 14:47:21
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