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關(guān)于CVD在藍寶石上生長石墨烯的工藝 已有1人參與
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各位蟲友,第一次發(fā)帖,請教大家問題: 最近在用CVD在藍寶石上生長石墨烯,參考了一些文獻,自己是在1040℃,H2流量50sccm,CH4流量25sccm,生長2h,結(jié)果啥都沒有。有以下幾個問題: 1.很少有文章研究氣壓與生長的關(guān)系,據(jù)我了解不同的管式爐、不同的真空泵會導致流量相同而氣壓不同,不知道氣壓是對生長關(guān)系不大呢還是研究它沒有意義? 2.有沒有做過類似工作的蟲友提提建議里面有哪些要注意的工藝? 3.自己做出的試樣不太方便直接拿去測拉曼或者掃描或者原子力,有沒有簡單易行的方法可以判斷到底有沒有獲得石墨烯? |
金蟲 (小有名氣)

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