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FLYFWY木蟲(chóng) (小有名氣)
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薄膜應(yīng)力控制 已有3人參與
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我用磁控濺射制備金屬多層膜（A/B/A/B……這種結(jié)構(gòu)），厚度um量級(jí)。 膜稍微鍍厚一點(diǎn)（幾十um)，鍍完膜取樣就會(huì)發(fā)現(xiàn)膜已從基片 上整體脫離（有的膜系是張應(yīng)力，有的是壓應(yīng)力）。鍍薄了對(duì)我來(lái)說(shuō)又沒(méi)用， 所以想控制薄膜的應(yīng)力，使其能盡量鍍厚而不脫落。 1.鍍完膜再退一遍火是否能降低薄膜應(yīng)力從而抑制膜脫落？ 2.該從哪些方面來(lái)控制薄膜應(yīng)力呢？基片熱膨脹系數(shù)，膜系 設(shè)計(jì)，烘烤溫度？？ 請(qǐng)蟲(chóng)友們指點(diǎn)一二，不勝感激！ |
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 薄膜制備與特性 |
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2樓2015-05-13 17:16:32
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9樓2015-05-29 15:09:40
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