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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 合成表征 » 薄膜應力控制
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FLYFWY木蟲 (小有名氣)
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薄膜應力控制 已有3人參與
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我用磁控濺射制備金屬多層膜（A/B/A/B……這種結(jié)構(gòu)），厚度um量級。 膜稍微鍍厚一點（幾十um)，鍍完膜取樣就會發(fā)現(xiàn)膜已從基片 上整體脫離（有的膜系是張應力，有的是壓應力）。鍍薄了對我來說又沒用， 所以想控制薄膜的應力，使其能盡量鍍厚而不脫落。 1.鍍完膜再退一遍火是否能降低薄膜應力從而抑制膜脫落？ 2.該從哪些方面來控制薄膜應力呢？基片熱膨脹系數(shù)，膜系 設計，烘烤溫度？？ 請蟲友們指點一二，不勝感激！ |
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 薄膜制備與特性 |
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FLYFWY
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